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2020年06月24日 00:00
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SKマテリアルズ フッ化水素の量産開始
半導体核心素材の国産化推進

 SKマテリアルズは17日、超高純度のフッ化水素ガスの量産を開始したと発表した。
同社が製造するフッ化水素は、純度99・999%を実現したもの。半導体生産時の必須素材で、韓国企業が量産に入るのは初となる。
慶尚北道栄州工場で製造され、2023年までに超高純度フッ化水素の国産化率を70%まで引き上げることを目標としている。
一方、同社は半導体回路を描く際に使う感光液であるフォトレジスト分野でも国産化作業を本格化している。フォトレジスト補助材のハードマスク(SOC)とフォトレジストの一種であるフッ化アルゴンフォトレジスト(ArF PR)の開発にも着手。
超高純度フッ化水素はフォトレジスト、フッ化ポリイミドと共に昨年7月、日本が韓国への輸出管理を強化した3品目に含まれる。どの素材も海外依存度が高い。

2020-06-24 2面
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